MEMS 열 질량 가스 유량 센서

열 질량 가스 유량 센서는 MEMS의 열 원리를 사용하여 파이프라인의 가스 질량 흐름을 모니터링하는 열 전달 원리를 기반으로 하는 센서 유형입니다.

흐름 칩은 두 개의 열전대 요소 또는 온도 센서와 가열 저항기 또는 가열 요소로 구성됩니다. 온도 센서는 발열체의 상류와 하류에 대칭적으로 분포되어 있습니다. 가열 요소와 열전대 스택의 열접점은 절연 베이스에 고정됩니다. 열 질량 유량 센서의 측정 원리는 센서 히터와 유동 매체 사이의 열 전달에 의존합니다.

가열 저항기는 열전대 스택의 열접점을 가열하고 열접점과 냉접점 사이의 온도 구배로 인해 아날로그 출력 전압이 생성됩니다. 유체가 정지해 있을 때 가열 저항기의 대칭면 온도는 동일합니다. 유체가 오른쪽에서 왼쪽으로 흐를 때 등온선은 왼쪽으로 기울어지고 가열 저항기 양면의 온도는 더 이상 동일하지 않으며 온도 차이는 가열 저항기 양쪽의 열전대 스택으로 측정할 수 있습니다. .

유체의 열 전달은 유체 질량 및 유체의 열용량에만 관련되므로 센서는 유체 질량 흐름을 직접 측정할 수 있습니다. 가스 질량 흐름은 일반적으로 SCCM(분당 표준 입방 센티미터) 및 SLM(분당 표준 리터), 즉 분당 표준 밀리리터와 분당 표준 리터로 측정됩니다.

열 질량 유량 센서의 특징

1) 열 질량 가스 유량 센서는 간단한 구조와 MEMS 센서를 사용합니다. 작은 크기, 낮은 전력 소비 및 쉬운 사용.

2)압력손실이 작고 온도와 압력범위가 넓다는 장점이 있다.

3)분할장치를 이용하여 미소유량과 대유량을 정확하게 측정할 수 있다. 다양한 가스의 비례 제어에 사용할 수 있습니다. 자동 흐름 제어도 실현할 수 있습니다.

4) 드리프트 없음, 빠른 응답, 탁월한 안정성 및 장기간 사용 시 뛰어난 반복성;

5)온도 보상 및 교정.

6) 게다가 Winsen 가스 유량 센서에 사용되는 칩은 충격과 오염에 견딜 수 있는 최신 기술입니다.

다양한 응용 분야 :

산업 공정 제어, 먼지 입자 계수기, 자동 제어, 의료 장비, 휴대용 기기, 공기 품질 샘플링 및 환경 모니터링 장비에서 비부식성, 비강산 및 강알칼리 가스를 측정하는 데 널리 사용됩니다.

모델	FR03	FR03H	FR06	FR15
사진
정상 범위(SLM)	0.1 / 0.2 / 0.3 / 0.5	1/2/3/4/5	10/15/20	0-300
공칭 직경(DN)	DN3		DN6	DN15
출력 신호	선형 1-5V/0.5-4.5V	선형 1-5V/0.5-4.5V 또는 디지털 IIC		선형 아날로그 전압 또는 디지털 IIC
작동 전압	DC5V-14V
정확성	±(2±0.5FS)%		±(2±0.5FS)%	0-9SLM ±0.5SLM; 9-300SLM ±2.5%FS
작동 압력	사용자 정의	200Kpa 이하	사용자 정의	/
작동 온도	0 ℃ ~ 50 ℃			5 ℃ ~ 60 ℃
보관 온도	-20 ℃ ~ 80 ℃
측정 매체	건조하고 깨끗한 비부식성 가스
전기 인터페이스	2.54mm-5P 핀 또는 PH2.0-5P 터미널(옵션)			몰렉스 87832-1010
기계 인터페이스	/	ISO3mm	Φ6-G1/8 공압 플러그	/

모델	FR20	F1012	F1031	F1031V
사진
정상 범위(SLM)	150/200/300	0.03 / 0.05 / 0.1/0.2/0.3/0.5/1	50/100/150/200/300	100 / 150 / 200 / 300
공칭 직경(DN)	DN20	DN3	DN20
출력 신호	LLinear 1-5V/0.5-4.5V 또는 디지털 IIC	선형 1-5V/0.5-4.5V		선형 0.5-4.5V
작동 전압	DC5V-14V	DC7V-14V	DC7V-14V	DC5V-14V
정확성	±(2±0.5FS)%	± 2.5 % FS	± 2.5 % FS	± 4 % FS
작동 압력	200KPa 이하		200KPa 이하
작동 온도	0 ℃ ~ 50 ℃		0 ℃ ~ 50 ℃
보관 온도	-20 ℃ ~ 80 ℃		-20 ℃ ~ 80 ℃
측정 매체	건조하고 깨끗한 비부식성 가스
전기 인터페이스	PH2.0-5P 터미널	2.54mm-5P 핀	PH2.0-5P 터미널
기계 인터페이스	ISO20mm	ISO3mm	ISO20mm